バリデーション関連業務のエヌケイエス株式会社

当社は、ISO9001に準じた運用システム(QMS)で
バリデーション(適格性評価)のサービスを専門に提供しています。

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グローブボックス 設備の適格性評価(IQ・OQ・PQ)・校正 評価/測定項目と対応範囲

給気ファンで空気を吸い込み、高性能フィルタで空気中の塵埃を取り除く
排気ファン、ダンパで内部の差圧を制御しつつ空気中の塵埃等を取り除き排気する

測定項目と対応範囲

風速0.1~25.0m/sec
差圧0~1250Pa
清浄度0.1~5μm

使用測定器の精度例

風速±0.1m/s
差圧±0.25Pa

評価項目

平均値・瞬時値・最大値・最小値
風量値

評価が求められる理由

機種や使われ方により、制御系の特性があります

グローブボックス内の風速・差圧の実態
グローブボックス内の清浄度の実態

制御系の特性は、劣化、フォールト(故障)状態などにより変化しています

グローブボックスに関連したNKSオリジナルの情報

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