清浄環境設備の評価 実績のある主な設備・機器をご紹介します
クリーンルーム
クリーンブース
| 測定項目 | 対応できる範囲 | 使用測定器の精度例 |
|---|---|---|
| 風速 | 0.1～25.0m/s | ±0.1m/s |
| 清浄度 | 0.1～5μm（粒径） | --- |
クリーンベンチ（オープン型）
| 測定項目 | 対応できる範囲 | 使用測定器の精度例 |
|---|---|---|
| 風速 | 0.1～25.0m/s | ±0.1m/sec |
| 清浄度 | 0.1～5μm（粒径） | --- |
クリーンベンチ
| 測定項目 | 対応できる範囲 | 使用測定器の精度例 |
|---|---|---|
| 風速 | 0.1～25.0m/s | ±0.1m/sec |
| 清浄度 | 0.1～5μm（粒径） | --- |
| 照度 | 30～30000lx | ±（2%rdg+1digit）～ |
グローブボックス
| 測定項目 | 対応できる範囲 | 使用測定器の精度例 |
|---|---|---|
| 風速 | 0.1～25.0m/s | ±0.1m/s |
| 差圧 | 0～1250Pa | ±0.25Pa |
| 清浄度 | 0.1～5μm（粒径） | --- |