バリデーション関連業務のエヌケイエス株式会社

当社は、ISO9001に準じた運用システム(QMS)で
バリデーション(適格性評価)のサービスを専門に提供しています。

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クリーンブース 設備の適格性評価(IQ・OQ・PQ)・校正 評価/測定項目と対応範囲

外気を吸い込み粗塵を除去して空調機で温湿度を調節
ダクトを通って給気ダンパで一定風量に調節し、
HEPAフィルタで塵埃を取り除き、部屋に吹き込む。
部屋から排気し、一部を給気側に循環させる。

測定項目と対応範囲

風速0.1~25.0m/sec
清浄度0.1~5μm

使用測定器の精度例

風速±0.1m/s

評価項目

平均値・瞬時値・最大値・最小値・偏差
風量値

機種や使われ方により、制御系の特性があります

クリーンブース内の風速・気流の実態
クリーンブース内の清浄度の実態

制御系の特性は、劣化、フォールト(故障)状態などにより変化しています

クリーンブースに関連したNKSオリジナルの情報

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実験データ クリーンルーム内の空気の流れ(気流)を5種類のタフトで試験しました

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