No.65 クリーンベンチの風速分布
１． 測定の概要
１．１ 対象設備
□ クリーンベンチ
＜仕様＞
清浄度 ： クラス100
吹出風速： 0.4m/sec
１．２ 測定に用いた測定器
□ 風速計
・型式 ： 6531 （カノマックス社製）
・測定レンジ
： 0.00～9.99(m/sec)
10.0～30.0(m/sec)
１．３ 測定の方法
測定は以下の方法で実施しました。
①クリーンベンチを運転する。
②クリーンベンチの前面シャッターを作業台から150mmに固定する。
③各測定位置（1.4 測定の状況の図参照）にて風速を測定する。
風速は１秒毎に１０回測定し、平均値を測定値とした。
【検査点】
開口量（開口部の高さ） ：150(mm)
測定箇所数 ： 9箇所
前部・中間・後部の３段 × 左右・中央の３列
１．４ 測定の状況
２．測定した結果
２．１ 測定結果の一覧表
２．２ 測定結果のグラフ
※ご注意※
前面シャッターの高さ（位置）をメーカ指定の範囲外で使用するのはNGです。
前面開口部から外部に吹き出す気流が乱れて、外部の塵埃を作業空間に
巻き込む可能性があります。
▼関連「装置の実験データ」はこちら
No.58 バイオハザード対策用クラスⅡキャビネットの風速分布
No.59 バイオハザード対策用クラスⅡキャビネットの風速分布（その２）
No.60 バイオハザード対策用クラスⅡキャビネットの風速分布（その３）
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