真空定温乾燥器設備の適格性評価（IQ・OQ・PQ）・校正　評価/測定項目と対応範囲

●槽内を真空ポンプで真空状態にする
●対象物をヒータで加熱した内壁面からの熱放射（輻射）接した棚板からの熱伝導で加熱する
●一定時間、真空・加熱の状態を維持することで対象物の水分が蒸発･除去される

測定項目と対応範囲

●温度　-50～350℃
●圧力　0～130kPa abs
●時間　1秒～99時間59分59秒99

使用測定器の精度例

評価項目

●平均値・瞬時値・最高値・最低値・制御精度
●分布・変動・変動幅・勾配・空間偏差・到達値

評価が求められる理由

機種や使われ方により、制御系の特性があります

●槽内のどの場所でも同じ温度でない
●乾燥機内部の温度は、一定でない
●付属の温度計の指示値が一定でも中の温度は違う

制御系の特性は、劣化、フォールト（故障）状態などにより変化しています

真空定温乾燥器に関連したNKSオリジナルの情報

当社のHPで実験などを交えた情報として閲覧可能です。是非ご覧ください

真空定温乾燥器 設備の適格性評価（IQ・OQ・PQ）・校正 評価/測定項目と対応範囲