グローブボックス 設備の適格性評価（IQ・OQ・PQ）・校正　評価/測定項目と対応範囲

●給気ファンで空気を吸い込み、高性能フィルタで空気中の塵埃を取り除く
●排気ファン、ダンパで内部の差圧を制御しつつ空気中の塵埃等を取り除き排気する

測定項目と対応範囲

●風速	0.1～25.0m/s
●差圧	0～1250Pa
●清浄度	0.1～5μm（粒径）

使用測定器の精度例

●風速	±0.1m/s
●差圧	±0.25Pa

評価項目

●平均値・瞬時値・最大値・最小値
●風量値

評価が求められる理由

機種や使われ方により、制御系の特性があります

●グローブボックス内の風速・差圧の実態
●グローブボックス内の清浄度の実態