オープンクリーンベンチ 設備の適格性評価（IQ・OQ・PQ）・校正　評価/測定項目と対応範囲

●ファンで空気を吸い込み、HEPAフィルタで空気中の塵埃を取り除く
●スクリーンで均一な風速分布で対向機器間に吹き込む
●対向機器間の中心面付近から排出する

測定項目と対応範囲

●風速	0.1～25.0m/s
●清浄度	0.1～5μm（粒径）

使用測定器の精度例

●風速

±0.1m/sec

評価項目

●平均値・瞬時値・最大値・最小値・偏差

評価が求められる理由

機種や使われ方により、制御系の特性があります

●オープンクリーンベンチ内の風速・気流の実態
●オープンクリーンベンチ内の清浄度の実態

制御系の特性は、劣化、フォールト（故障）状態などにより変化しています