クリーンベンチ 設備の適格性評価（IQ・OQ・PQ）・校正　評価/測定項目と対応範囲

●ファンにて空気を吸い込み
●HEPAフィルタで塵埃を取り除き、
●作業空間に吹き込む

測定項目と対応範囲

●風速	0.1～25.0m/s
●清浄度	0.1～5μm（粒径）
●照度	30～30000lx

使用測定器の精度例

風速	±0.1m/sec
照度	±（2％rdg＋1dgt）～

評価項目

●平均値・瞬時値・最大値・最小値・偏差

評価が求められる理由

機種や使われ方により、制御系の特性があります

●シャッターの吹出口の風速は一定でない
●クリーンベンチ内の風速・気流の実態
●クリーンベンチ内の清浄度の実態

制御系の特性は、劣化、フォールト（故障）状態などにより変化しています