クリーンルーム 設備の適格性評価（IQ・OQ・PQ）・校正 評価/測定項目と対応範囲
●外気を吸い込み粗塵を除去して空調機で温湿度を調節
●ダクトを通って給気ダンパで一定風量に調節し
●HEPAフィルタで塵埃を取り除き、部屋に吹き込む
●部屋から排気し、一部を給気側に循環させる
測定項目と対応範囲
| ●風速 | 0.1～25.0m/s |
| ●清浄度 | 0.1～5μm（粒径） |
| ●差圧 | 0～1250Pa |
| ●温湿度 | 10～50℃ 10～90%rh |
| ●気流 | 気流の方向 |
使用測定器の精度例
| ●風速 | ±0.1m/s |
| ●差圧 | ±0.25Pa |
| ●温湿度 | ±0.3℃～ /±0.8%rh |
評価項目
●平均値・瞬時値・最大値・最小値
●可視化・風量値・換気回数値
機種や使われ方により、制御系の特性があります
●クリーンルームへの風速・風量の実態
●クリーンルーム内の清浄度の実態
制御系の特性は、劣化、フォールト（故障）状態などにより変化しています
クリーンルームに関連したNKSオリジナルの情報
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■実験データ クリーンルーム内の空気の流れ(気流）を5種類のタフトで試験しました
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