バリデーション関連業務のエヌケイエス株式会社

当社は、ISO9001に準じた運用システム(QMS)で
バリデーション(適格性評価)のサービスを専門に提供しています。

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クリーンベンチ 設備の適格性評価(IQ・OQ・PQ)・校正 評価/測定項目と対応範囲

ファンにて空気を吸い込み
HEPAフィルタで塵埃を取り除き、
作業空間に吹き込む

測定項目と対応範囲

風速0.1~25.0m/sec
清浄度0.1~5μm
照度30~30000lx

使用測定器の精度例

風速±0.1m/sec
照度±(2%rdg+1dgt)~

評価項目

平均値・瞬時値・最大値・最小値・偏差

評価が求められる理由

機種や使われ方により、制御系の特性があります

シャッターの吹出口の風速は一定でない
クリーンベンチ内の風速・気流の実態
クリーンベンチ内の清浄度の実態

制御系の特性は、劣化、フォールト(故障)状態などにより変化しています

クリーンベンチに関連したNKSオリジナルの情報

関連メルマガ クリーンベンチのシャッター開口部の風速測定
実験データ クリーンベンチの風速分布

当社のHPで実験などを交えた情報として閲覧可能です。是非ご覧ください。